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Agilent
NEG吸氣劑泵的工作原理基于吸附劑表面的getter效應(yīng),通過將氣體分子吸附在表面上,從而有效地降低真空系統(tǒng)的壓力。以下是NEG吸氣劑泵的工作原理的簡要說明:
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吸附劑材料: NEG吸氣劑泵的核心是吸附劑,通常采用一種或多種金屬合金,如鈦合金(Ti-Zr-V)或鋯合金。這些材料的表面具有高度活性,能夠吸附氣體分子。
Getter效應(yīng): 吸附劑表面上的getter材料具有強(qiáng)烈的親合力,吸引氣體分子吸附在其表面上。這種效應(yīng)被稱為getter效應(yīng),使得氣體分子能夠緊密附著在吸附劑表面。
非蒸發(fā)性: NEG吸氣劑泵是一種非蒸發(fā)性的系統(tǒng),與傳統(tǒng)的蒸發(fā)源不同,它不會釋放蒸氣。相反,吸附劑將氣體分子吸附在表面上,并將其“固定”在那里。
運(yùn)行溫度: NEG吸氣劑泵通常在室溫至幾百攝氏度的范圍內(nèi)工作。在一些應(yīng)用中,可能需要對吸附劑進(jìn)行加熱以激活getter效應(yīng),但并非所有系統(tǒng)都需要加熱。
吸附氣體種類: NEG吸氣劑泵對多種氣體都具有較好的吸附效果,包括氫氣、氦氣、氮?dú)?、氧氣、水蒸氣等。這使得它在不同應(yīng)用場景中都能夠有效地降低氣體壓力。
真空系統(tǒng)中的位置: NEG吸氣劑泵通常安裝在真空系統(tǒng)中的氣體流通路徑上,確保氣體分子能夠接觸到吸附劑表面,從而被有效吸附。
有效抽速: NEG吸氣劑泵的抽速取決于吸附劑的面積和性能。吸氣劑的大面積和吸附效果可以在相對短的時間內(nèi)將氣體從系統(tǒng)中吸附出去。
壽命: NEG吸氣劑泵通常具有較長的壽命,可以達(dá)到數(shù)年或更長時間,這取決于使用環(huán)境和操作條件。
以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的Agilent安捷倫NEG吸氣劑泵工作原理的介紹。