問：高真空閘閥可允許漏率是多少？

答：不同型號、應(yīng)用環(huán)境對真空閘閥的漏率要求會有所差別，高真空閘閥的可允許漏率應(yīng)< 1×10^-10 mbar ?/sec。

高真空閘閥

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