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真空微漏閥是一種用于控制和調(diào)節(jié)真空系統(tǒng)壓力的裝置。它的主要作用是允許氣體從真空系統(tǒng)中流出，以便維持系統(tǒng)的穩(wěn)定壓力。當(dāng)真空系統(tǒng)中的壓力超過微漏閥設(shè)定的壓力時(shí)，微漏閥會打開，使氣體流出系統(tǒng)。當(dāng)系統(tǒng)壓力下降到微漏閥設(shè)定的壓力以下時(shí)，微漏閥會關(guān)閉，以保持系統(tǒng)壓力穩(wěn)定。

真空微漏閥通常由一個(gè)閥體和一個(gè)閥芯組成。閥芯通過一個(gè)彈簧與閥體相連，當(dāng)系統(tǒng)壓力超過設(shè)定值時(shí)，閥芯被壓縮并打開閥門。當(dāng)系統(tǒng)壓力降低到設(shè)定值以下時(shí)，彈簧推動閥芯關(guān)閉閥門。

真空微漏閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等領(lǐng)域的真空系統(tǒng)中。它們通常被用來控制和調(diào)節(jié)真空系統(tǒng)的壓力，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。

VACGEN 微漏閥 ZLVM940R

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