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JJ X-Ray 整體式位移臺 MONOLITHIC STAGE適用于UHV和低至 0.01 arcsec (50 nrad)的角分辨率??筛鶕?jù)客戶對分辨率、尺寸和負(fù)載的要求而生產(chǎn)的。
產(chǎn)品詳情
JJ X-Ray設(shè)計和生產(chǎn)用于超精細(xì)分辨率的整體式位移臺 MONOLITHIC STAGE。這些位移臺適用于UHV和低至 0.01 arcsec (50 nrad)的角分辨率。可根據(jù)客戶對分辨率、尺寸和負(fù)載的要求而生產(chǎn)的。
JJ X-Ray 開發(fā)了基于不銹鋼整體式位移臺的theta旋轉(zhuǎn)和chi旋轉(zhuǎn)。整體平臺的中心部分通過薄壁連接相對于外部部分旋轉(zhuǎn)。為了提高分辨率,壓電致動器作用在一個靈活的杠桿臂上,將分辨率降低了4倍。平臺的角度范圍為 1mrad,負(fù)載能力為 1-10kg。
MONOLITHIC STAGE
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